เอทิลีนออกไซด์ (ETO) มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะสารฆ่าเชื้อที่อุณหภูมิต่ําตั้งแต่ทศวรรษที่ 1950 นี่เป็นวิธีที่ใช้กันทั่วไปในการฆ่าเชื้ออุปกรณ์และเวชภัณฑ์ทางการแพทย์ที่ไวต่ออุณหภูมิและความชื้นในสถานพยาบาล เครื่องฆ่าเชื้อ ETO มีสองประเภทคือก๊าซผสมและ ETO 100% จนถึงปี 1995 เครื่องฆ่าเชื้อเอทิลีนออกไซด์ได้รวม ETO เข้ากับโคลงคลอโรฟลูออโรคาร์บอน (CFC) ซึ่งที่พบมากที่สุดคือ ETO 12%